A.真空室內(nèi)總放氣量的計(jì)算;
B.確定真空室的有效抽速;
C.粗配主泵和粗配前級(jí)真空泵;
D.根據(jù)要求選擇閥門、捕集器、除塵器等真空元件;
E.繪制真空系統(tǒng)裝配草圖，確定各部分的尺寸;
F.精確(復(fù)核)計(jì)算各真空泵的參數(shù)，如果粗選的真空泵達(dá)不到要求，就需要重新選泵和配泵，直到滿足各參數(shù)要求為止;
G.繪制真空系統(tǒng)裝配圖;
H.繪制零件圖，繪制施工圖。
這八條設(shè)計(jì)計(jì)算步驟是非標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)不可缺少的。隨著真空設(shè)備的不斷發(fā)展，隨著各種新型的真空機(jī)組的不斷出現(xiàn)，真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程會(huì)不斷簡(jiǎn)化.現(xiàn)在已有定型真空機(jī)組，若可以直接選擇定型真空機(jī)組來(lái)獲得所需真空系統(tǒng)，便可省去麻煩的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
